一種高純鎵容器的清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210389613.X 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN102873047B 公開(公告)日 2017-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN102873047B 申請(qǐng)公布日 2017-04-12
分類號(hào) B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 康云飛;喬文;鐘曉露 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣西德保鎵業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京彭麗芳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 南京隆潤(rùn)半導(dǎo)體材料有限公司;廣西德保鎵業(yè)有限公司
地址 314500 浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市梧桐街道新民北路678號(hào)-15
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純鎵容器的清洗方法,其特征在于包括以下步驟:(1)將高純水加熱至60℃?80℃,浸泡容器15?25分鐘,搖床震蕩,使得鎵融化成為液態(tài),此時(shí)有少量的液態(tài)鎵會(huì)從容器上脫離;(2)用電子純的強(qiáng)堿性的無(wú)機(jī)堿溶液,加熱至60℃?80℃,浸泡容器5?15分鐘,同時(shí)震蕩10?15分鐘;(3)用高純水沖洗已經(jīng)沒有粘附鎵的容器;(4)用電子純的強(qiáng)酸性的無(wú)機(jī)酸溶液,將已經(jīng)沖洗好的容器全部浸沒在容器中0.5?2分鐘;(5)用高純水再次沖洗容器;(6)將容器干燥備用。本發(fā)明回收了高純鎵,節(jié)省了生產(chǎn)成本;簡(jiǎn)單易行;實(shí)現(xiàn)了容器的徹底清洗,使得容器可以循環(huán)使用。