一種全息干涉儀的全自動相位誤差修正方法與系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010285773.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111397506B 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN111397506B 申請公布日 2021-07-30
分類號 G01B9/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄧遠(yuǎn)博;初大平 申請（專利權(quán)）人 劍橋大學(xué)南京科技創(chuàng)新中心有限公司
代理機構(gòu) 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳建和
地址 210000江蘇省南京市江北新區(qū)定山大街126號8號樓2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種全息干涉儀的全自動相位誤差修正方法，基于LCOS，對全息干涉儀系統(tǒng)中由光學(xué)器件，以及全息干涉儀系統(tǒng)搭建所引入的波前相位誤差，進(jìn)行自動化修正，在LCOS上加上一個相位光柵，相位光柵是由LCOS像素排列的，每個像素均要經(jīng)過基于硅基液晶（LCOS）的全息三維干涉儀的全自動相位誤差修正：在LCOS上加入相位光柵的參數(shù)由下述方法修正，在LCOS上加載相位光柵，而此次加載的光柵僅包含原有相位光柵的很小一部分，很小一部分指一個像素或者一個像素團(tuán)（MxN個像素），而把原有相位光柵剩余的部分清零，依次進(jìn)行逐一的調(diào)控；選取G（x,y）作為被調(diào)控像素，在G（x,y）上加載光柵相位值，此時平移焦點的接收的能量決定于確定位置的像素G（1,1）以及G（x,y）這兩個像素的復(fù)振幅相加，遍歷完整個相位光柵，并將所記錄的每一個像素點上的相位值組合形成新的相位光柵。