一種半導(dǎo)體尺寸的測(cè)量計(jì)算方法、裝置及計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110744197.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113420260A 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113420260A 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) G06F17/12（2006.01）I;G06F17/14（2006.01）I;G06F17/16（2006.01）I;G06F17/17（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 禇漢友;張雪娜;洪峰;李卓;張麗娟;袁方瓊;王嵐 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市埃芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 時(shí)樂行
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道庫(kù)坑社區(qū)庫(kù)坑觀光路1310號(hào)噴油車間6棟101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種半導(dǎo)體尺寸的測(cè)量計(jì)算方法、裝置及計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)，涉及測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。該測(cè)量計(jì)算方法包括：獲取半導(dǎo)體的特性參數(shù)；基于特性參數(shù)和嚴(yán)格耦合波分析法，構(gòu)建耦合波方程組；基于帕德近似法，對(duì)耦合波方程組進(jìn)行求解，以得到半導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)尺寸。通過這種方式，能夠加快對(duì)該耦合波方程的求解，進(jìn)而提高半導(dǎo)體尺寸的測(cè)量計(jì)算速度。