一種掃描電子顯微圖像的三維重構(gòu)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510891707.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN105590338B | 公開（公告）日 | 2018-08-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105590338B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-08-10 |
| 分類號(hào) | G06T17/00 | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 張利斌;粟雅娟;韋亞一 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東中科芯發(fā)展科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 朱海波 |
| 地址 | 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)（廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)）開源大道136號(hào)自編A棟102室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種掃描電子顯微圖像的三維重構(gòu)方法，其中，包括步驟：提供微納結(jié)構(gòu)；獲取微納結(jié)構(gòu)的掃描電子顯微圖像；根據(jù)所述掃描電子顯微圖像獲取三維結(jié)構(gòu)粗略圖；根據(jù)所述掃描電子顯微圖像構(gòu)建反射電子強(qiáng)度數(shù)據(jù)庫；根據(jù)所述反射電子強(qiáng)度數(shù)據(jù)庫對(duì)所述三維結(jié)構(gòu)粗略圖進(jìn)行修正，獲取三維結(jié)構(gòu)修正圖；獲取所述微納結(jié)構(gòu)的邊界信息并根據(jù)該邊界信息對(duì)所述三維結(jié)構(gòu)修正圖進(jìn)行修正從而得到三維結(jié)構(gòu)精細(xì)圖。 |
