五級(jí)衍射光柵結(jié)構(gòu)及其制備方法、晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610140129.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105607435B 公開(kāi)（公告）日 2017-10-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN105607435B 申請(qǐng)公布日 2017-10-24
分類號(hào) G03F9/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張利斌;董立松;蘇曉菁;韋亞一 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東中科芯發(fā)展科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙秀芹;王寶筠
地址 100029 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種五級(jí)衍射光柵結(jié)構(gòu)及其制備方法、晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)方法。在該五級(jí)衍射光柵結(jié)構(gòu)包括晶圓以及形成于晶圓上的光柵圖形結(jié)構(gòu)。光柵圖形結(jié)構(gòu)由光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元組成，光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元的寬度為一個(gè)光柵周期，所述光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元在寬度方向上等分為20個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域上設(shè)置有第一圖形結(jié)構(gòu)1st或第二圖形結(jié)構(gòu)2nd；1st和2nd在光柵圖形結(jié)構(gòu)的寬度方向上按照不同順序排列形成不同的光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元，所述光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元為第一光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元、第二光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元或第三光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元。該光柵結(jié)構(gòu)能夠有效提高光柵的衍射光強(qiáng)，增大光刻時(shí)在對(duì)準(zhǔn)光柵之上涂覆材料及其厚度的可選擇范圍，降低對(duì)準(zhǔn)不確定性范圍，提高精確對(duì)準(zhǔn)精度。