一種線條粗糙度的測量方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610645840.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106352820A 公開（公告）日 2017-01-25
申請公布號 CN106352820A 申請公布日 2017-01-25
分類號 G01B15/08(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張利斌;韋亞一 申請（專利權(quán)）人 廣東中科芯發(fā)展科技有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黨麗;王寶筠
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)（廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)）開源大道136號自編A棟102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種線條粗糙度的測量方法及系統(tǒng)，確定多個像素閾值，并獲得每個像素閾值下的邊緣分布，在對邊緣分布進行分析后，獲得每個像素閾值下的線條粗糙度，通過對所有像素閾值下的線條粗糙度進行比較，選擇線條粗糙度連續(xù)變化時的最小值作為待測結(jié)構(gòu)的線條粗糙度。在該方法中，采用多像素閾值的方法，每次測試中對所有像素閾值下的線條粗糙度進行比較，選擇線條粗糙度連續(xù)變化時的最小值作為待測結(jié)構(gòu)的線條粗糙度，該線條粗糙度為最佳像素閾值下的測量值，測試結(jié)果更具有準確性，對于不同批次產(chǎn)品的測量，最佳像素閾值下的測量值為動態(tài)獲得的，測試結(jié)果具有準確性和穩(wěn)定性，能夠真實反映刻蝕工藝是否達標，利于提高產(chǎn)品的良率和性能。