七級衍射光柵結(jié)構(gòu)及其制備方法、晶圓光刻對準(zhǔn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610140991.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105549138B 公開（公告）日 2017-10-24
申請公布號 CN105549138B 申請公布日 2017-10-24
分類號 G02B5/18(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 張利斌;董立松;蘇曉菁;韋亞一 申請（專利權(quán)）人 廣東中科芯發(fā)展科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寶筠
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)（廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)）開源大道136號自編A棟102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種七級衍射光柵結(jié)構(gòu)及其制備方法、晶圓光刻對準(zhǔn)方法。在該七級衍射光柵結(jié)構(gòu)包括晶圓以及形成于晶圓上的光柵圖形結(jié)構(gòu)。光柵圖形結(jié)構(gòu)由光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元組成，光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元的寬度為一個光柵周期，所述光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元在寬度方向上等分為28個區(qū)域，每個區(qū)域上設(shè)置有第一圖形結(jié)構(gòu)1st或第二圖形結(jié)構(gòu)2nd；1st和2nd在光柵圖形結(jié)構(gòu)的寬度方向上按照不同順序排列形成不同的光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元，所述光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元為第一至第七光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元的任一種。該光柵結(jié)構(gòu)能夠有效提高光柵的衍射光強(qiáng)，增大光刻時(shí)在對準(zhǔn)光柵之上涂覆材料及其厚度的可選擇范圍，降低對準(zhǔn)不確定性范圍，提高精確對準(zhǔn)精度。