七級(jí)衍射光柵結(jié)構(gòu)及其制備方法、晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610140991.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN105549138B | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-10-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105549138B | 申請(qǐng)公布日 | 2017-10-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | G02B5/18(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 張利斌;董立松;蘇曉菁;韋亞一 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廣東中科芯發(fā)展科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王寶筠 |
| 地址 | 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)（廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)）開(kāi)源大道136號(hào)自編A棟102室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種七級(jí)衍射光柵結(jié)構(gòu)及其制備方法、晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)方法。在該七級(jí)衍射光柵結(jié)構(gòu)包括晶圓以及形成于晶圓上的光柵圖形結(jié)構(gòu)。光柵圖形結(jié)構(gòu)由光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元組成，光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元的寬度為一個(gè)光柵周期，所述光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元在寬度方向上等分為28個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域上設(shè)置有第一圖形結(jié)構(gòu)1st或第二圖形結(jié)構(gòu)2nd；1st和2nd在光柵圖形結(jié)構(gòu)的寬度方向上按照不同順序排列形成不同的光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元，所述光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元為第一至第七光柵精細(xì)結(jié)構(gòu)單元的任一種。該光柵結(jié)構(gòu)能夠有效提高光柵的衍射光強(qiáng)，增大光刻時(shí)在對(duì)準(zhǔn)光柵之上涂覆材料及其厚度的可選擇范圍，降低對(duì)準(zhǔn)不確定性范圍，提高精確對(duì)準(zhǔn)精度。 |
