一種線條粗糙度的測(cè)量方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610645840.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106352820B 公開（公告）日 2019-01-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN106352820B 申請(qǐng)公布日 2019-01-22
分類號(hào) G01B15/08 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張利斌;韋亞一 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東中科芯發(fā)展科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黨麗;王寶筠
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)（廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)）開源大道136號(hào)自編A棟102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種線條粗糙度的測(cè)量方法及系統(tǒng)，確定多個(gè)像素閾值，并獲得每個(gè)像素閾值下的邊緣分布，在對(duì)邊緣分布進(jìn)行分析后，獲得每個(gè)像素閾值下的線條粗糙度，通過對(duì)所有像素閾值下的線條粗糙度進(jìn)行比較，選擇線條粗糙度連續(xù)變化時(shí)的最小值作為待測(cè)結(jié)構(gòu)的線條粗糙度。在該方法中，采用多像素閾值的方法，每次測(cè)試中對(duì)所有像素閾值下的線條粗糙度進(jìn)行比較，選擇線條粗糙度連續(xù)變化時(shí)的最小值作為待測(cè)結(jié)構(gòu)的線條粗糙度，該線條粗糙度為最佳像素閾值下的測(cè)量值，測(cè)試結(jié)果更具有準(zhǔn)確性，對(duì)于不同批次產(chǎn)品的測(cè)量，最佳像素閾值下的測(cè)量值為動(dòng)態(tài)獲得的，測(cè)試結(jié)果具有準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，能夠真實(shí)反映刻蝕工藝是否達(dá)標(biāo)，利于提高產(chǎn)品的良率和性能。