一種用于氣相沉積裝置的氣體均勻混合分布器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920903440.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210613652U 公開（公告）日 2020-05-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN210613652U 申請(qǐng)公布日 2020-05-26
分類號(hào) B01J19/00;B01J4/00;B01F5/06 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 阮詩倫;樊利芳;李朝陽;張留新;王新宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鄭州大工高新科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州浩德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭州大工高新科技有限公司
地址 450000 河南省鄭州市自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)鄭州片區(qū)(經(jīng)開)第二大街58號(hào)興華大廈2號(hào)樓102號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提出了一種用于氣相沉積裝置的氣體均勻混合分布器，包括：多通管、螺旋狀氣體混合管、導(dǎo)流裝置、氣體均勻分布板、反應(yīng)裝置，多通管、螺旋狀氣體混合管、導(dǎo)流裝置、反應(yīng)裝置依次連接，在反應(yīng)裝置后部也連接有一個(gè)螺旋狀氣體混合管，氣體均勻分布板設(shè)置在反應(yīng)裝置的前部，導(dǎo)流裝置位于氣體均勻分布板的正前方，導(dǎo)流裝置由導(dǎo)流罩和導(dǎo)流塊組成，導(dǎo)流塊為錐形結(jié)構(gòu)。其有益效果是：區(qū)別于傳統(tǒng)的通氣方式，氣體由直管直接進(jìn)入反應(yīng)爐，本裝置首先使多種氣體在螺旋狀管道內(nèi)進(jìn)行螺旋流動(dòng)混合；在進(jìn)入反應(yīng)室前通過導(dǎo)流裝置，改變氣流原有流動(dòng)方向，使混合氣體均勻的向四周分散，最后經(jīng)過氣體均勻分布板，進(jìn)一步使氣體更加均勻的進(jìn)入反應(yīng)室內(nèi)。