一種用于氣相沉積的耐高溫組合支架
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201920905937.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210237772U | 公開（公告）日 | 2020-04-03 |
| 申請公布號(hào) | CN210237772U | 申請公布日 | 2020-04-03 |
| 分類號(hào) | C23C16/458(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 阮詩倫;張留新;李朝陽;張光輝;樊利芳;王新宇 | 申請（專利權(quán)）人 | 鄭州大工高新科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 鄭州浩德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 鄭州大工高新科技有限公司;大連理工大學(xué)重大裝備設(shè)計(jì)與制造鄭州研究院 |
| 地址 | 450000河南省鄭州市自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)鄭州片區(qū)(經(jīng)開)第二大街58號(hào)興華大廈2號(hào)樓102號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提出了一種用于氣相沉積的耐高溫組合支架，包括：底板、支柱、套管、兩個(gè)擋條組；底板為水平放置的矩形板，底板兩側(cè)的橫邊兩端設(shè)有臺(tái)階形的定位孔，支柱下端為與定位孔形狀配適的臺(tái)階圓臺(tái)，套管內(nèi)直徑與支柱外徑相適配，檔條組包括上檔條、放置在底板兩側(cè)豎邊上的下檔條，上檔條、下檔條上設(shè)有多個(gè)相對應(yīng)的等間距的通槽，其兩端設(shè)有通孔，支柱從下至上依次穿過定位孔、下檔條兩端的通孔、套管、上檔條兩端的通孔；本實(shí)用新型可適用于氣相沉積中薄邊類基板表面生成大面積納米薄膜或涂層，具有很高的效率，容易加工，成本低，適用于工業(yè)化大批量生產(chǎn)。?? |
