一種金剛線切割多晶硅片的制絨預(yù)處理方法及制絨方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610963805.5 申請日 -
公開（公告）號 CN106400122B 公開（公告）日 2018-12-28
申請公布號 CN106400122B 申請公布日 2018-12-28
分類號 C30B33/10;C30B33/02;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉立新 申請（專利權(quán)）人 杭州太能硅業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 代理人 杭州太能硅業(yè)有限公司
地址 311228 浙江省杭州市蕭山區(qū)臨江高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)經(jīng)六路1287號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種金剛線切割多晶硅片的制絨預(yù)處理方法及制絨方法，包括以下步驟：1)：將金剛線切割好的多晶硅片進行清洗烘干；2)：對清洗烘干后的多晶硅片進行濕氧氧化；3)：將步驟2)中處理的多晶硅片清洗烘干；4)：將步驟3)中處理過的多晶硅片進行固相晶化；5)將步驟4)所得到的多晶硅片進行制絨，得到制絨的多晶硅片；該方法有效的降低了金剛線切割多晶硅片后多晶硅表面的切割紋，使制絨后的電池轉(zhuǎn)換效率提高。