用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機(jī)械手及機(jī)器人
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010702501.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112060112A | 公開（公告）日 | 2020-12-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112060112A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-11 |
| 分類號(hào) | B25J15/00(2006.01)I | 分類 | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 金泰永;曲揚(yáng);張琦輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 中國科學(xué)院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司 |
| 地址 | 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機(jī)械手及機(jī)器人。本申請(qǐng)中的用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機(jī)械手包括基座、夾緊單元和翻轉(zhuǎn)單元，夾緊單元與基座相連，用于對(duì)晶圓進(jìn)行夾緊，翻轉(zhuǎn)單元與基座相連，用于對(duì)基座進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。根據(jù)申請(qǐng)中的用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機(jī)械手，通過移動(dòng)機(jī)械手至晶圓的上方，夾緊單元對(duì)晶圓進(jìn)行夾緊，翻轉(zhuǎn)單元轉(zhuǎn)動(dòng)基座，基座翻轉(zhuǎn)的同時(shí)帶動(dòng)夾緊單元和晶圓共同翻轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)晶圓的抓取和翻轉(zhuǎn)在同一機(jī)構(gòu)上的共同操作，避免了晶圓由機(jī)械手轉(zhuǎn)移至翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的過程，從而減少了晶圓翻轉(zhuǎn)過程的時(shí)間，提高了晶圓的檢測(cè)效率。?? |
