光刻膠收集杯清理方法及光刻膠收集杯清理設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010752074.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112090890A 公開（公告）日 2020-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112090890A 申請(qǐng)公布日 2020-12-18
分類號(hào) B08B9/08;G03F7/16 分類 清潔;
發(fā)明人 金在植;張成根;林鍾吉;賀曉彬;劉金彪;劉強(qiáng);李亭亭 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻膠收集杯清理方法及光刻膠收集杯清理設(shè)備，光刻膠收集杯清理方法包括預(yù)清洗步驟：?jiǎn)?dòng)位于光刻膠收集杯內(nèi)側(cè)的旋轉(zhuǎn)片和位于旋轉(zhuǎn)片下方的清洗液噴嘴，控制清洗液噴嘴向旋轉(zhuǎn)片噴灑清洗液，使清洗液被旋轉(zhuǎn)片濺射在光刻膠收集杯的內(nèi)側(cè)，以對(duì)光刻膠收集杯進(jìn)行預(yù)清洗；以及分區(qū)域清洗步驟：控制旋轉(zhuǎn)片變速旋轉(zhuǎn)多次，每次旋轉(zhuǎn)的初始轉(zhuǎn)速不同，每次旋轉(zhuǎn)使清洗液被濺射到光刻膠收集杯上的一個(gè)區(qū)域，清洗液多次濺射覆蓋的區(qū)域至少包括光刻膠收集杯的待清洗部位。本實(shí)施例通過改變初始轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)了分區(qū)域清洗，通過變速旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)了對(duì)每個(gè)區(qū)域進(jìn)行移動(dòng)清洗，提高了清洗效果，避免了光刻膠收集杯中殘余光刻膠造成后續(xù)工藝缺陷。