一種遠(yuǎn)程等離子體輸送管以及遠(yuǎn)程等離子體處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> 2020109918349 申請日 -
公開（公告）號 CN112259432A 公開（公告）日 2021-01-22
申請公布號 CN112259432A 申請公布日 2021-01-22
分類號 H01J37/32(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 金暻臺;白國斌;高建峰;王桂磊;崔恒瑋;丁云凌 申請（專利權(quán)）人 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勝利
地址 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種遠(yuǎn)程等離子體輸送管以及遠(yuǎn)程等離子體處理設(shè)備，涉及等離子體處理技術(shù)領(lǐng)域，以解決遠(yuǎn)程等離子體容易與等離子體輸送管發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生副產(chǎn)物，從而導(dǎo)致最終的硅片成品率降低的技術(shù)問題。該遠(yuǎn)程等離子體輸送管用于向工藝腔輸送遠(yuǎn)程等離子體，遠(yuǎn)程等離子體輸送管包括金屬管，以及形成在所述金屬管內(nèi)壁的陶瓷結(jié)構(gòu)，所述陶瓷結(jié)構(gòu)用于隔離所述金屬管與遠(yuǎn)程等離子體。遠(yuǎn)程等離子體處理設(shè)備包括上述技術(shù)方案所提供的遠(yuǎn)程等離子體輸送管。??