檢測(cè)及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微塵的裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010763336.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112051273A | 公開（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112051273A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-08 |
| 分類號(hào) | G01N21/94(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 金成昱;金帥炯;梁賢石;賀曉彬;楊濤;李俊峰;王文武 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司 |
| 地址 | 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種檢測(cè)及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微塵的裝置及方法。所述裝置包括：裝載單元，裝載單元包括用于保持光掩模的保持部；檢測(cè)單元，檢測(cè)單元用于檢測(cè)光掩模上的微塵；清理單元，清理單元用于對(duì)檢測(cè)到的微塵進(jìn)行清理。在應(yīng)用微塵清理裝置時(shí)，可以將待測(cè)的光掩模裝載于裝載單元，裝載后的光掩模保持在保持部上，之后可以啟動(dòng)檢測(cè)單元對(duì)光掩模上的微塵進(jìn)行檢測(cè)，待完成檢測(cè)后，可以通過清理單元對(duì)微塵進(jìn)行清理，從而去除光掩模上的微塵。利用本申請(qǐng)的微塵清理裝置能夠以連續(xù)的方式順次對(duì)光掩模實(shí)施微塵檢測(cè)和微塵清除的工作，使得微塵檢測(cè)和微塵清除兩項(xiàng)工作無縫銜接，由此，可以提高光掩模的微塵檢測(cè)及清理過程的整體效率。?? |
