除塵管道及擴(kuò)散設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010691355.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112077084A 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN112077084A 申請公布日 2020-12-15
分類號 B08B9/032;H01L21/67 分類 清潔;
發(fā)明人 安重鎰;李相遇;金成基;熊文娟;蔣浩杰;李亭亭;丁云凌 申請（專利權(quán)）人 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于除塵設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種除塵管道及具有該除塵管道的擴(kuò)散設(shè)備。本實(shí)施方式中的除塵管道包括管體和至少一個(gè)吹氣單元，管體的內(nèi)部設(shè)有用于排氣氣流流動的管腔，吹氣單元用于與氣源相連通，吹氣單元上的至少部分結(jié)構(gòu)設(shè)于管腔內(nèi)，吹氣單元設(shè)于管腔內(nèi)的至少部分結(jié)構(gòu)上設(shè)有至少一個(gè)吹氣孔。根據(jù)本申請中的除塵管道，將吹氣單元與氣源相連通，通過吹氣孔向管體的管腔內(nèi)通入除塵氣流，除塵氣流沖擊附著在管體的內(nèi)壁上的灰塵雜質(zhì)并使灰塵雜質(zhì)脫落，最終將管腔內(nèi)的灰塵雜質(zhì)隨排氣氣流一同排出管腔，保證管腔的內(nèi)部的排氣氣流的通暢，減少或避免管腔內(nèi)部堵塞現(xiàn)象的發(fā)生，提高設(shè)備運(yùn)行的可靠性。