一種柔性器件的制備方法及應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811094783.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN109216589B 公開(公告)日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN109216589B 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) H01L51/56;H01L51/54 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏建文;劉強(qiáng);黃明起;陳元甫 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市化訊半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 鞏克棟
地址 518101 廣東省深圳市南山區(qū)西麗官龍第二工業(yè)區(qū)大學(xué)城希創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園5樓508
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種柔性器件的制備方法及應(yīng)用,所述制備方法包括如下步驟:(1)在透明基板上設(shè)置犧牲層,在犧牲層上設(shè)置柔性器件;(2)從透明基板側(cè)經(jīng)激光剝離實(shí)現(xiàn)犧牲層與柔性器件的分離,得到所述柔性器件;其中,所述犧牲層的制備原料包括基體樹脂和感光助劑。本發(fā)明采用基體樹脂和感光助劑作為犧牲層的制備原料,感光助劑具有感光基團(tuán),感光基團(tuán)可以吸收光照能量使基體樹脂的結(jié)構(gòu)遭到破壞,進(jìn)而使?fàn)奚鼘邮フ辰Y(jié)性,最終使柔性器件與犧牲層在室溫下無(wú)應(yīng)力分離,從而可以避免柔性器件在剝離過程中產(chǎn)生的輕微變形等不利影響。