一種傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910192142.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109655181B 公開（公告）日 2019-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN109655181B 申請(qǐng)公布日 2019-06-25
分類號(hào) G01L1/22（2006.01）I; G01L9/04（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張威; 周浩楠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京智芯傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知元同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京協(xié)同創(chuàng)新研究院; 北京智芯傳感科技有限公司
地址 100094 北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)翠湖南環(huán)路13號(hào)院1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例涉及一種傳感器及其制備方法，所述傳感器包括MEMS力傳感器芯片、壓力傳導(dǎo)部件、傳感器芯片容置體和彈性片；所述傳感器芯片容置體用于容納所述MEMS力傳感器芯片，具有開口端；所述彈性片中部具有圓孔，彈性片固定連接在傳感器芯片容置體的開口端；所述壓力傳導(dǎo)部件用于將外部壓力傳遞至壓力敏感梁，一端設(shè)置于所述定位孔或定位槽上，另一端與彈性片中部的圓孔相接。該傳感器能夠直接檢測(cè)外部壓力，無需媒介，擴(kuò)大了應(yīng)用場(chǎng)景，檢測(cè)靈敏，準(zhǔn)確，封裝工藝簡單。