一種傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910192144.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110031136A 公開（公告）日 2019-07-19
申請公布號 CN110031136A 申請公布日 2019-07-19
分類號 G01L1/22;B81C1/00;B81B3/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張威;周浩楠 申請（專利權(quán)）人 北京智芯傳感科技有限公司
代理機構(gòu) 北京知元同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京協(xié)同創(chuàng)新研究院;北京智芯傳感科技有限公司
地址 100094 北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)翠湖南環(huán)路13號院1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例涉及一種力傳感器及其制備方法，所述力傳感器包括MEMS力傳感器芯片，所述芯片包括基底，基底的上表面具有凹槽，基底的上表面上設(shè)置有壓力敏感層；所述壓力敏感層包括邊框和壓力敏感梁；所述邊框部分地或完全地圍繞凹槽設(shè)置，所述壓力敏感梁設(shè)置于所述凹槽的上方，壓力敏感梁的各端部分別與壓力敏感層的邊框相連；所述壓力敏感層的上表面上設(shè)置有多個壓敏電阻，每個壓敏電阻的至少一部分位于所述壓力敏感梁上，所述多個壓敏電阻連接構(gòu)成惠斯通電橋。該傳感器能夠直接檢測外部壓力，無需媒介，擴大了應(yīng)用場景。