一種傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910192142.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109655181A 公開（公告）日 2019-04-19
申請公布號 CN109655181A 申請公布日 2019-04-19
分類號 G01L1/22（2006.01）I; G01L9/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張威; 周浩楠 申請（專利權(quán)）人 北京智芯傳感科技有限公司
代理機構(gòu) 北京知元同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京協(xié)同創(chuàng)新研究院; 北京智芯傳感科技有限公司
地址 100094 北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)翠湖南環(huán)路13號院1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例涉及一種傳感器及其制備方法，所述傳感器包括MEMS力傳感器芯片、壓力傳導(dǎo)部件、傳感器芯片容置體和彈性片；所述傳感器芯片容置體用于容納所述MEMS力傳感器芯片，具有開口端；所述彈性片中部具有圓孔，彈性片固定連接在傳感器芯片容置體的開口端；所述壓力傳導(dǎo)部件用于將外部壓力傳遞至壓力敏感梁，一端設(shè)置于所述定位孔或定位槽上，另一端與彈性片中部的圓孔相接。該傳感器能夠直接檢測外部壓力，無需媒介，擴大了應(yīng)用場景，檢測靈敏，準(zhǔn)確，封裝工藝簡單。