光調(diào)制器像素單元及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010230027.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102338931B 公開（公告）日 2014-03-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN102338931B 申請(qǐng)公布日 2014-03-12
分類號(hào) G02B26/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 毛劍宏;唐德明;韓鳳芹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鎮(zhèn)江芯納微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 駱蘇華
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號(hào)5號(hào)樓501B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 發(fā)明提供了一種光調(diào)制器像素單元，包括底部電極、可動(dòng)電極、頂部電極，在控制電路控制下，所述可動(dòng)電極的位置會(huì)發(fā)生偏移，分別位于第一位置、第二位置和第三位置，當(dāng)可動(dòng)電極位于第一位置時(shí)，入射至光調(diào)制器像素單元的第一光線的經(jīng)由頂部電極反射的光線與透過頂部電極的由可動(dòng)電極反射的并再透過頂部電極的光線發(fā)生相消干涉；可動(dòng)電極位于第二位置和第三位置分別對(duì)第二光線和第三光線進(jìn)行調(diào)制原理與可動(dòng)電極位于第一位置對(duì)第一光線的調(diào)制原理相同。所述第一光線、第二光線、第三光線分別為三種特定波長范圍的單色光。本發(fā)明的光調(diào)制器像素單元能夠分時(shí)控制三種特定波長的單色光，實(shí)現(xiàn)色彩控制和灰度控制，適用于投影顯示以及平板系統(tǒng)。