慣性微機(jī)電傳感器的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010200713.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102275860B 公開（公告）日 2014-12-31
申請公布號 CN102275860B 申請公布日 2014-12-31
分類號 B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01P15/125(2006.01)I;G01D5/241(2006.01)I;G01C19/00(2013.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 毛劍宏;韓鳳芹;唐德明 申請（專利權(quán)）人 鎮(zhèn)江芯納微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 張家港市高松專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張家港麗恒光微電子科技有限公司;上海麗恒光微電子科技有限公司;麗水玨意芯誠電子科技合伙企業(yè)（有限合伙）;浙江玨芯微電子有限公司
地址 215613 江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)雙龍村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種慣性微機(jī)電傳感器及其制造方法，該慣性微機(jī)電傳感器，能夠相對移動的主體和質(zhì)量塊，所述主體包括具有第一表面的第一主體和垂直并連接所述第一表面的第二主體，所述第一主體內(nèi)具有平行于所述第一表面的第一電極，所述第二主體內(nèi)具有垂直于所述第一表面的第二電極；所述質(zhì)量塊懸置在所述第二主體和第一主體形成的空間內(nèi)，所述質(zhì)量塊包括平行且相對于所述第一表面的第三電極、垂直于所述第一表面的第四電極和質(zhì)量層，所述第三電極和第四電極相連并構(gòu)成U型凹槽，所述質(zhì)量層填充于所述U型凹槽內(nèi)，可以有效地提高慣性質(zhì)量塊的重量，提高慣性微機(jī)電傳感器的精確度，并降低制造成本。