陀螺儀及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010200715.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102278981B 公開（公告）日 2014-01-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN102278981B 申請(qǐng)公布日 2014-01-08
分類號(hào) G01C19/567(2012.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 毛劍宏;韓鳳芹;唐德明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鎮(zhèn)江芯納微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 張家港市高松專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張家港麗恒光微電子科技有限公司;上海麗恒光微電子科技有限公司
地址 215613 江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)雙龍村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種陀螺儀及其制造方法，該陀螺儀包括：襯底，襯底內(nèi)具有底層驅(qū)動(dòng)電極和位于底層驅(qū)動(dòng)電極外圍的底層測(cè)量電極；位于襯底上的介質(zhì)層，在介質(zhì)層中具有封閉的空腔；所述空腔內(nèi)包括：位于襯底上的中心軸；置于襯底上且能圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)的支撐環(huán)；位于支撐環(huán)外圍且與支撐環(huán)共中心軸的質(zhì)量環(huán)；連接支撐環(huán)和質(zhì)量環(huán)且支撐所述質(zhì)量環(huán)懸置于所述空腔內(nèi)的懸臂；位于支撐環(huán)、質(zhì)量環(huán)和相鄰兩懸壁之間區(qū)域內(nèi)的彈性部件；覆蓋支撐環(huán)、質(zhì)量環(huán)、懸臂和彈性部件的頂層驅(qū)動(dòng)電極；連接彈性部件上頂層驅(qū)動(dòng)電極與底層驅(qū)動(dòng)電極的導(dǎo)電插塞；所述質(zhì)量環(huán)包括絕緣層及位于絕緣層下的重量層。該陀螺儀的穩(wěn)定性和性能得到較大提高。