柔性顯示器基板的封裝裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201580039352.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106537635B 公開（公告）日 2018-08-21
申請公布號 CN106537635B 申請公布日 2018-08-21
分類號 H01L51/56;H01L27/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李勝光;曹昌鉉;金英俊 申請（專利權(quán)）人 中船重工齊騰科技（武漢）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三高永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 徐立
地址 430070 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路312號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柔性顯示器基板的封裝裝置和方法。柔性顯示器基板的封裝裝置包括：放置柔性基板的夾具、在柔性基板的表面噴射無機(jī)物的第一噴射部、在柔性基板的表面噴射有機(jī)物的第二噴射部、離子束產(chǎn)生裝置和差分真空腔，該離子束產(chǎn)生裝置將通過使離子加速產(chǎn)生的離子束發(fā)射到噴射有無機(jī)物和有機(jī)物的柔性基板的表面，該差分真空腔可將離子束產(chǎn)生裝置和形成有第一噴射部、第二噴射部和夾具的空間設(shè)置成具有不同的真空度。該離子束產(chǎn)生裝置可產(chǎn)生離子束能量在第一閾值和第二閾值之間的離子束，使得被加速的離子束注入到噴射有無機(jī)物和有機(jī)物的柔性基板的表面。