一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910174602.1 申請日 -
公開（公告）號 CN109887866B 公開（公告）日 2020-01-07
申請公布號 CN109887866B 申請公布日 2020-01-07
分類號 H01L21/67（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳鑫城 申請（專利權(quán)）人 航天智訊新能源（山東）有限公司
代理機構(gòu) 重慶中流知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 重慶市洲金電子科技有限公司;航天智訊新能源（山東）有限公司
地址 409130 重慶市石柱土家族自治縣南賓鎮(zhèn)城南居委白巖組（工業(yè)孵化樓605-15）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體晶圓清洗裝置，其結(jié)構(gòu)包括清洗裝置本體、折疊晶圓收納筐和擺臂升降架，該清洗裝置本體底端的清洗箱內(nèi)部第二電機運轉(zhuǎn)帶動左端搖桿旋轉(zhuǎn)，搖桿前端底部與第一連桿內(nèi)側(cè)直槽口滑動連接，搖桿周轉(zhuǎn)帶動第一連桿擺動，第一連桿帶動左端第二連桿擺動，第二連桿帶動第二滑塊在第二安裝架內(nèi)的滑槽上下移動，由于第二滑塊左端與連接塊固定連接，同時連接塊左端通過滑塊與安裝架滑動連接，第二滑塊上下滑動過程通過連接塊帶動頂端的外框和網(wǎng)面上下移動，網(wǎng)面上下移動過程中帶動頂端的收納筐本體上下移動，收納筐本體將在清洗箱內(nèi)部上下移動進一步清洗，內(nèi)側(cè)的晶圓片與清洗箱內(nèi)部超純水接觸，晶圓片活動移動將提升清洗效率。