一種TaN-稀土復合涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110785360.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113502452A 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN113502452A 申請公布日 2021-10-15
分類號 C23C14/06（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/48（2006.01）I;C23C14/58（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王楚峰 申請（專利權）人 深圳市阿爾法材料科技有限公司
代理機構 長沙智勤知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 曾芳琴
地址 518054廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新區(qū)社區(qū)粵興三道2號深圳虛擬大學園院校產(chǎn)業(yè)化綜合大樓A6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種TaN?稀土復合涂層及其制備方法。為了提高現(xiàn)有的TaN涂層的耐腐蝕性能，本發(fā)明創(chuàng)造性的通過離子注入法向TaN涂層中摻入稀土元素鑭，離子注入處理后，在TaN涂層的表層或近表層區(qū)域形成了耐腐蝕性能優(yōu)異的TaN?稀土復合涂層。進一步研究后發(fā)現(xiàn)，稀土元素的注入量應控制在合理的范圍，因為過多的稀土元素不僅對耐腐蝕性能的提高沒有裨益，反而會降低TaN涂層的生物相容性。