基于MEMS的溫差式氣體流量傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022368269.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212903385U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212903385U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | G01F1/692(2006.01)I;G01F1/684(2006.01)I;G01F1/68(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 熊金龍;陸強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫芯靈微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李明;趙吉陽 |
| 地址 | 214072江蘇省無錫市濱湖區(qū)滴翠路100號(hào)創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)園9幢1樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公開提供一種基于MEMS的溫差式氣體流量傳感器，所述溫差式氣體流量傳感器包括：基底，包括沿其厚度方向相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面；加熱元件，所述加熱元件懸空設(shè)置在所述第一表面上；溫差測(cè)量組件，所述溫差測(cè)量組件設(shè)置在所述加熱元件外側(cè)，以根據(jù)待測(cè)氣體流過所產(chǎn)生的溫差信息輸出所述待測(cè)氣體的氣體流量信息。本公開的溫差式氣體流量傳感器，一方面，其基于MEMS結(jié)構(gòu)，可以使得整個(gè)溫差式氣體流量傳感器結(jié)構(gòu)緊湊；另一方面，采用懸空設(shè)置的加熱元件，可以大大降低氣體流量傳感器在使用中的功耗；最后一方面，采用溫差測(cè)量氣體流量的原理，可以大大提高流量測(cè)量精度和測(cè)量范圍，可以廣泛應(yīng)用于汽車、生物、醫(yī)療、消費(fèi)電子等各個(gè)領(lǐng)域。?? |
