基于MEMS的溫差式氣體流量傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022368269.9 申請日 -
公開（公告）號 CN212903385U 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN212903385U 申請公布日 2021-04-06
分類號 G01F1/692(2006.01)I;G01F1/684(2006.01)I;G01F1/68(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 熊金龍;陸強 申請（專利權(quán)）人 無錫芯靈微電子有限公司
代理機構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 214072江蘇省無錫市濱湖區(qū)滴翠路100號創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)園9幢1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種基于MEMS的溫差式氣體流量傳感器，所述溫差式氣體流量傳感器包括：基底，包括沿其厚度方向相對設(shè)置的第一表面和第二表面；加熱元件，所述加熱元件懸空設(shè)置在所述第一表面上；溫差測量組件，所述溫差測量組件設(shè)置在所述加熱元件外側(cè)，以根據(jù)待測氣體流過所產(chǎn)生的溫差信息輸出所述待測氣體的氣體流量信息。本公開的溫差式氣體流量傳感器，一方面，其基于MEMS結(jié)構(gòu)，可以使得整個溫差式氣體流量傳感器結(jié)構(gòu)緊湊；另一方面，采用懸空設(shè)置的加熱元件，可以大大降低氣體流量傳感器在使用中的功耗；最后一方面，采用溫差測量氣體流量的原理，可以大大提高流量測量精度和測量范圍，可以廣泛應(yīng)用于汽車、生物、醫(yī)療、消費電子等各個領(lǐng)域。??