一種半導(dǎo)體晶圓的定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520045879.1 申請日 -
公開（公告）號 CN204537999U 公開（公告）日 2015-08-05
申請公布號 CN204537999U 申請公布日 2015-08-05
分類號 H01L21/68(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;張小明;劉曉燕 申請（專利權(quán)）人 池州市九華恒昌產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽安芯電子科技有限公司;安徽安芯電子科技股份有限公司
地址 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體晶圓的定位裝置，包括：定位凹槽、光罩片及抽真空部件；所述定位凹槽內(nèi)設(shè)有定位線槽；所述定位線槽的深度為190-210um，所述定位線槽的尺寸和形狀均與所述晶圓相同；所述光罩片在將第一張晶圓放入所述定位線槽時，與所述定位凹槽的一外周邊固定；所述抽真空部件與所述定位凹槽相連，用于在放入所述晶圓時，抽空所述晶圓和所述光罩片兩者之間的空氣，以使所述光罩片與所述晶圓貼合，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中人工對線準(zhǔn)確度不高，導(dǎo)致降低產(chǎn)品良率及生產(chǎn)效率、員工易疲勞的問題。