一種晶圓測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520010166.1 申請日 -
公開（公告）號 CN204348687U 公開（公告）日 2015-05-20
申請公布號 CN204348687U 申請公布日 2015-05-20
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;張小明;馬曉飛 申請（專利權）人 池州市九華恒昌產業(yè)投資有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 安徽安芯電子科技有限公司;安徽安芯電子科技股份有限公司
地址 247100 安徽省池州市經濟開發(fā)區(qū)富安電子信息產業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓測試裝置，包括：測試筆、用于傳輸所述測試筆的測試結果的信號輸出部件；所述測試筆包括用于測試時與晶圓上的晶粒接觸的筆頭端；所述筆頭端的外壁設置有用于指示測試結果的發(fā)光部，使得在測試筆在試晶圓時，測試的結果可以直觀、醒目的、快速地呈現(xiàn)在操作者面前，操作者毋須頻繁抬頭查看測試結果，并對測試結果判斷，有效提高測試效率和準確性，也減少了操作者的疲勞，提高生產效率。