一種晶圓測(cè)試裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201520010166.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN204348687U | 公開(kāi)（公告）日 | 2015-05-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN204348687U | 申請(qǐng)公布日 | 2015-05-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/66(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 汪良恩;張小明;馬曉飛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 池州市九華恒昌產(chǎn)業(yè)投資有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 安徽安芯電子科技有限公司;安徽安芯電子科技股份有限公司 |
| 地址 | 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓測(cè)試裝置，包括：測(cè)試筆、用于傳輸所述測(cè)試筆的測(cè)試結(jié)果的信號(hào)輸出部件；所述測(cè)試筆包括用于測(cè)試時(shí)與晶圓上的晶粒接觸的筆頭端；所述筆頭端的外壁設(shè)置有用于指示測(cè)試結(jié)果的發(fā)光部，使得在測(cè)試筆在試晶圓時(shí)，測(cè)試的結(jié)果可以直觀、醒目的、快速地呈現(xiàn)在操作者面前，操作者毋須頻繁抬頭查看測(cè)試結(jié)果，并對(duì)測(cè)試結(jié)果判斷，有效提高測(cè)試效率和準(zhǔn)確性，也減少了操作者的疲勞，提高生產(chǎn)效率。 |
