半導(dǎo)體芯片分向測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420692931.8 申請日 -
公開（公告）號 CN204289398U 公開（公告）日 2015-04-22
申請公布號 CN204289398U 申請公布日 2015-04-22
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;汪曦凌 申請（專利權(quán)）人 池州市九華恒昌產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽安芯電子科技有限公司;安徽安芯電子科技股份有限公司
地址 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體分向測試裝置，包括：底座，所述底座水平放置，所述底座的上表面具有多個(gè)容納被檢測芯片的放置槽，且所述放置槽的深度不大于所述被檢測芯片的厚度，所述放置槽的底部具有至少一個(gè)第一通孔，所述底座具有第二通孔，所述第二通孔與所述放置槽的第一通孔相連通；真空泵，所述真空泵與所述底座的第二通孔密封連接，用于降低所述底座、所述第一通孔、所述第二通孔和所述被檢測芯片構(gòu)成的密閉空間內(nèi)的氣壓。所述被檢測芯片有選擇性的搖出所述半導(dǎo)體芯片分向測試裝置，分向速度快，準(zhǔn)確度高，對所述被檢測芯片的損傷小。