一種晶圓擴(kuò)散用石英管及其進(jìn)氣連接結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420769305.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN204281897U 公開（公告）日 2015-04-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN204281897U 申請(qǐng)公布日 2015-04-22
分類號(hào) C30B31/10(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 汪良恩;張小明;安啟躍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 池州市九華恒昌產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽安芯電子科技有限公司;安徽安芯電子科技股份有限公司
地址 247100 安徽省池州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)富安電子信息產(chǎn)業(yè)園10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓擴(kuò)散用石英管，將石英管尾管端部燒制一段外徑較進(jìn)氣管內(nèi)徑略大的細(xì)管，具有以下優(yōu)點(diǎn)：1)取消爐管的球磨接頭，直接在管尾上燒制一段連接進(jìn)氣管的小管，降低了石英管管尾加工難度，由傳統(tǒng)石英管的三個(gè)部件改變?yōu)橐粋€(gè)部件，石英管的制作成本大大降低。2)直接將進(jìn)氣管連接在爐管上，徹底改善了傳統(tǒng)的晶圓擴(kuò)散石英管由于夾具松動(dòng)、球磨接口碎裂而導(dǎo)致反應(yīng)氣體泄漏現(xiàn)象，使晶圓擴(kuò)散工藝控制變得穩(wěn)定、可靠。本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種應(yīng)用上述石英管的進(jìn)氣連接結(jié)構(gòu)，可獲得密封性較好的連接效果。