光刻膠清洗裝置及其清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111205307.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113917806A 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113917806A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) G03F7/42（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張賓;李若朋;朱瑞;陳善任 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州奧松電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州利能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王增鑫
地址 510530廣東省廣州市黃埔區(qū)云駿路17號(hào)自編3棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光刻膠清洗裝置及其清洗方法，所述光刻膠清洗裝置，包括溶解箱體、升降固定臺(tái)、沖洗機(jī)構(gòu)以及控制單元；所述溶解箱體包括用于盛裝溶解液的溶解腔室；所述升降固定臺(tái)置于所述溶解腔室內(nèi)，用于承托硅片；所述沖洗機(jī)構(gòu)包括沖洗噴頭，該沖洗噴頭置于高于所述升降固定臺(tái)的上方空間處；所述控制單元用于控制所述升降固定臺(tái)在溶解液液面上下之間切換，且用于控制所述沖洗機(jī)構(gòu)移動(dòng)到使其沖洗噴頭對(duì)準(zhǔn)所述升降固定臺(tái)的位置。本發(fā)明的光刻膠清洗裝置可通過控制單元控制溶解箱體、升降固定臺(tái)及沖洗機(jī)構(gòu)之間相互配合工作，以自動(dòng)完成對(duì)未清洗的硅片清除殘留的光刻膠，提高了生產(chǎn)效率與良品率，便于大規(guī)模應(yīng)用。