半導(dǎo)體晶片的高速熒光光譜檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520048428.3 申請日 -
公開（公告）號 CN204359694U 公開（公告）日 2015-05-27
申請公布號 CN204359694U 申請公布日 2015-05-27
分類號 G01N21/64(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐杰;郭金源 申請（專利權(quán)）人 北京中拓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司 代理人 北京中拓機(jī)械集團(tuán)有限責(zé)任公司;北京中拓光電科技有限公司
地址 102208 北京市昌平區(qū)科技園區(qū)華通路11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型為半導(dǎo)體晶片的高速熒光光譜檢測裝置，涉及半導(dǎo)體晶片檢測裝置，主要包括機(jī)架（1）、半導(dǎo)體晶片運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（2）、激光發(fā)生裝置（3）、光路收集系統(tǒng)（4）、光譜儀（5）、面陣CCD相機(jī)（6）、控制計(jì)算機(jī)（7），其中，半導(dǎo)體晶片運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（2）、激光發(fā)生裝置（3）、光路收集系統(tǒng)（4）和光譜儀（5）均固定在機(jī)架（1）上端，半導(dǎo)體晶片運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（2）固定在機(jī)架（1）下端，所述的半導(dǎo)體晶片運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（2）、激光發(fā)生裝置（3）、光路收集系統(tǒng)（4）、光譜儀（5）、面陣CCD相機(jī)（6），在使用時(shí)在暗室（8）內(nèi)。本實(shí)用新型的檢測裝置的優(yōu)點(diǎn)是既能實(shí)現(xiàn)高速掃描半導(dǎo)體晶片，又可獲得半導(dǎo)體晶片的熒光光譜形狀、強(qiáng)度、峰值波長、半高寬等豐富信息。