半導(dǎo)體晶片的自動(dòng)檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510451237.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105023859A 公開(kāi)（公告）日 2015-11-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN105023859A 申請(qǐng)公布日 2015-11-04
分類號(hào) H01L21/66(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭金源;徐杰;伊文君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京中拓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司 代理人 周豐
地址 102208 北京市昌平區(qū)回龍觀鎮(zhèn)龍祥制版集團(tuán)北院1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明位一種半導(dǎo)體晶片的自動(dòng)檢測(cè)裝置，屬于自動(dòng)檢測(cè)裝置技術(shù)領(lǐng)域。主要包括機(jī)架（1）、檢測(cè)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（7）、料倉(cāng)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)（5）、光路收集系統(tǒng)（6）、運(yùn)動(dòng)控制器（8）、計(jì)算機(jī)（9）、正片機(jī)（3）和整平器（2），檢測(cè)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)固定在機(jī)架1上，檢測(cè)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)的安裝平面與水平面之間的夾角為α，90°＜α＜180°，料倉(cāng)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)固定在檢測(cè)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中機(jī)械手臂的末端位置，使得方便機(jī)械手臂對(duì)料盒中的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行搬運(yùn)。本發(fā)明通過(guò)對(duì)料倉(cāng)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)傾斜放置，可以在Z軸方向運(yùn)動(dòng)，使得機(jī)械手臂不需在Z軸方向運(yùn)動(dòng)，來(lái)解決現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體晶片自動(dòng)檢測(cè)裝置在檢測(cè)時(shí)檢測(cè)步驟復(fù)雜，設(shè)備成本高等問(wèn)題。