一種可升降的載物臺(tái)及用其對外延片進(jìn)行檢測的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210144979.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN114324341A 公開（公告）日 2022-04-12
申請公布號(hào) CN114324341A 申請公布日 2022-04-12
分類號(hào) G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 伊文君;張奇;徐杰;賈偵華 申請（專利權(quán)）人 北京中拓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 102200北京市昌平區(qū)科技園區(qū)超前路23號(hào)院C區(qū)1層106號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可升降的載物臺(tái)，包括機(jī)架，載片臺(tái)（20），頂針組件，升降機(jī)構(gòu)，以及驅(qū)動(dòng)組件；其特征在于，驅(qū)動(dòng)組件可通過升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)（20）升降，從而使得頂針組件中的頂針（12）的頂部處于突出于載片臺(tái)（20）的上表面一定距離、與載片臺(tái)（20）的上表面齊平、或者低于載片臺(tái)（20）上表面一定距離的位置，當(dāng)頂針（12）的頂部處于突出于載片臺(tái)（20）的上表面一定距離的位置時(shí)，可實(shí)現(xiàn)外延片的自動(dòng)取放；當(dāng)頂針（12）的頂部處于與載片臺(tái)（20）的上表面齊平、或者低于該上表面一定距離的位置時(shí)，可實(shí)現(xiàn)外延片的吸附固定、以及檢測時(shí)的自動(dòng)調(diào)焦。