半導體晶片的托起裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520043561.X 申請日 -
公開（公告）號 CN204361073U 公開（公告）日 2015-05-27
申請公布號 CN204361073U 申請公布日 2015-05-27
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐杰;郭金源 申請（專利權(quán)）人 北京中拓光電科技有限公司
代理機構(gòu) 上海申蒙商標專利代理有限公司 代理人 周豐
地址 102208 北京市昌平區(qū)科技園區(qū)華通路11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型為一種半導體晶片的托起裝置，涉及一種配合機械手搬運半導體晶片至檢測臺上的輔助裝置，尤其是一種用頂針機構(gòu)配合機械手搬運半導體晶片至檢測臺上的半導體晶片的托起裝置。主要包括與檢測平臺（6）平行的頂針固定板（7），及驅(qū)動頂針固定板（7）上下位移直線伸縮機構(gòu)（8），直線伸縮機構(gòu)（8）通過直線伸縮機構(gòu)固定板（9）與檢測平臺（6）固定聯(lián)接，頂針固定板（7）為一平板，在檢測平臺（6）上設置檢測平臺導向孔（11），使得頂針固定板（7）的頂針（5）能夠穿過檢測平臺導向孔（11）托起半導體晶片。本實用新型專利解決了做光譜檢測時，由于半導體晶片底部背景因距離載片臺上表面高度不一樣，而產(chǎn)生不同的反光及透光效果的問題，從而最終獲得光譜檢測結(jié)果中強度指標與實際被測值最接近的結(jié)果。