一種等離子體處理裝置及其上電極組件的調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010967087.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114188206A 公開（公告）日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114188206A 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊金全;黃允文;吳狄;王明明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐雯瓊;張妍
地址 201201上海市浦東新區(qū)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）泰華路188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種等離子體處理裝置及其上電極組件的調(diào)節(jié)方法，該裝置包含：真空反應(yīng)腔，其由反應(yīng)腔腔體和設(shè)有通孔的腔體端蓋包圍而成；下電極組件，與通孔中心對(duì)稱；上電極組件，貫穿腔體端蓋的通孔，上電極組件的邊緣與通孔的側(cè)壁之間設(shè)有間距；若干個(gè)加熱組件，用于加熱上電極組件，使上電極組件受熱膨脹直至上電極組件邊緣周向與通孔的側(cè)壁接觸；若干個(gè)支撐組件，用于實(shí)現(xiàn)上電極組件和腔體端蓋的分離和固定，當(dāng)加熱組件處于加熱狀態(tài)時(shí)，上電極組件和腔體端蓋可發(fā)生相互位移。其優(yōu)點(diǎn)是：該裝置將加熱組件、支撐組件等相結(jié)合，利用熱脹冷縮的原理，實(shí)現(xiàn)上電極組件的對(duì)中調(diào)節(jié)，不需要另外安裝其他復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，調(diào)節(jié)方便。