一種等離子體處理裝置及氣體供應(yīng)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010871863.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114121585A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114121585A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 魏強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 徐雯瓊;章麗娟 |
| 地址 | 201201上海市浦東新區(qū)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）泰華路188號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)一種等離子體處理裝置及氣體供應(yīng)方法，等離子體處理裝置包括反應(yīng)腔，反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)置基座，氣體供應(yīng)裝置向反應(yīng)腔內(nèi)輸送反應(yīng)氣體，氣體供應(yīng)裝置包含氣體總管道和多路氣體分流輸送管路，在多路氣體分流輸送管路上分別設(shè)置一流量控制閥，將多個(gè)流量控制閥的流量系數(shù)和電信號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系存儲(chǔ)到一控制器內(nèi)；設(shè)定多路氣體分流輸送管路的目標(biāo)氣體流量的比例關(guān)系，控制器根據(jù)多路氣體分流輸送管路的流量比例輸送對(duì)應(yīng)的電信號(hào)至流量控制閥，以調(diào)節(jié)每個(gè)流量控制閥的閥開(kāi)度。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)1分2路、1分3路甚至1分更多路，本發(fā)明在未設(shè)置流量反饋模塊時(shí)仍能準(zhǔn)確地分流，耗時(shí)很少，響應(yīng)速度快，控制結(jié)果基本不受各閥門差異的影響，實(shí)用性強(qiáng)。 |
