一種晶棒拼接系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202122031851.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN215976144U | 公開(公告)日 | 2022-03-08 |
申請公布號 | CN215976144U | 申請公布日 | 2022-03-08 |
分類號 | C30B33/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 王慧智;魏興星;劉立新;王虎;姜樹人;杜康;李思華;袁海軍 | 申請(專利權(quán))人 | 銀川隆基光伏科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王勝利 |
地址 | 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)寶湖西路552號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開一種晶棒拼接系統(tǒng),涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。以提供一種可以降低員工勞動強度、且生產(chǎn)效率高的晶棒拼接系統(tǒng)。加熱裝置晶棒拼接系統(tǒng)包括控制器以及與控制器通信連接的拼棒定位機構(gòu)、第一推動機構(gòu)、第二推動機構(gòu)和信息檢測裝置。拼棒定位機構(gòu)用于對待拼接的多個晶棒進行定位。第一推動機構(gòu)用于推動第一晶棒至初次定位位置;第二推動機構(gòu)用于推動第二晶棒至檢測位置;信息檢測裝置用于在第二晶棒被推動至檢測位置后,獲取多個晶棒中每兩個相鄰晶棒間的拼接信息。第二推動機構(gòu)還用于,在每兩個相鄰晶棒間的拼接信息中存在不滿足預(yù)設(shè)拼接條件的拼接信息的情況下,推動第二晶棒,直至每兩個相鄰晶棒間的拼接信息均滿足預(yù)設(shè)拼接條件。 |
