一種晶棒拼接系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122031851.0 申請日 -
公開(公告)號 CN215976144U 公開(公告)日 2022-03-08
申請公布號 CN215976144U 申請公布日 2022-03-08
分類號 C30B33/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王慧智;魏興星;劉立新;王虎;姜樹人;杜康;李思華;袁海軍 申請(專利權(quán))人 銀川隆基光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勝利
地址 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)寶湖西路552號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種晶棒拼接系統(tǒng),涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。以提供一種可以降低員工勞動強度、且生產(chǎn)效率高的晶棒拼接系統(tǒng)。加熱裝置晶棒拼接系統(tǒng)包括控制器以及與控制器通信連接的拼棒定位機構(gòu)、第一推動機構(gòu)、第二推動機構(gòu)和信息檢測裝置。拼棒定位機構(gòu)用于對待拼接的多個晶棒進行定位。第一推動機構(gòu)用于推動第一晶棒至初次定位位置;第二推動機構(gòu)用于推動第二晶棒至檢測位置;信息檢測裝置用于在第二晶棒被推動至檢測位置后,獲取多個晶棒中每兩個相鄰晶棒間的拼接信息。第二推動機構(gòu)還用于,在每兩個相鄰晶棒間的拼接信息中存在不滿足預(yù)設(shè)拼接條件的拼接信息的情況下,推動第二晶棒,直至每兩個相鄰晶棒間的拼接信息均滿足預(yù)設(shè)拼接條件。