一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011085530.2 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN112185879A | 公開(公告)日 | 2021-01-05 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN112185879A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-05 |
分類號(hào) | H01L21/683(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 王凱鋒;袁磊;邱道權(quán) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 合肥中恒微半導(dǎo)體有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 合肥中恒微半導(dǎo)體有限公司 |
地址 | 230000安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道與明珠大道交叉口106號(hào)5號(hào)樓2層C區(qū) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種IGBT鍵合機(jī)DBC吸附固定裝置,包括兩塊固定板、DBC料板以及安置于DBC料板上的多塊DBC基板,兩塊所述固定板之間水平設(shè)置有可豎直升降活動(dòng)的DBC定位板,所述DBC定位板的下方相對(duì)平行設(shè)置有可豎直升降活動(dòng)的吸盤組件,所述DBC料板活動(dòng)設(shè)置于DBC定位板和吸盤組件之間的平面上;所述吸盤組件是由底板上表面設(shè)置有與DBC基板相對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸附單元構(gòu)成,所述吸附單元通過氣孔與底板內(nèi)部的氣路連通,且氣路的出口通過支管和真空電磁閥外接真空抽吸設(shè)備,且真空電磁閥上設(shè)置有真空壓力表,所述真空壓力表與設(shè)備控制器電性連接。該裝置,可實(shí)現(xiàn)對(duì)于待鍵合加工的DBC基板進(jìn)行快速準(zhǔn)確的定位,定位效率高,自動(dòng)化程度高,從而加快了生產(chǎn)效率。?? |
