一種納米復(fù)合涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010288838.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111304618B 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN111304618B 申請公布日 2021-12-21
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 符國建;祝新發(fā);陸紅妹;孟漪;李偉;牛景銳 申請（專利權(quán)）人 上海工具廠有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 趙曉琳
地址 200093上海市楊浦區(qū)軍工路1060號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及納米復(fù)合涂層技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種（AlCrTiZrMo）?Six?N納米復(fù)合涂層及其制備方法。本發(fā)明提供的（AlCrTiZrMo）?Six?N納米復(fù)合涂層包括（AlCrTiZrMo）N基體相和Si3N4界面相；所述Si3N4界面相將（AlCrTiZrMo）N基體相分成了若干個基體相單元，每個基體相單元外側(cè)被Si3N4界面相環(huán)繞包圍。本發(fā)明通過Si摻雜使得涂層形成界面相Si3N4包裹納米晶（AlCrTiZrMo）N的納米復(fù)合結(jié)構(gòu)，界面相阻礙了（AlCrTiZrMo）N納米晶粒沿晶界的滑移，抑制了納米復(fù)合膜的微觀變形，以達(dá)到全面提高硬度和彈性模量的效果。