基于AI與云計算技術(shù)的半導(dǎo)體基板光刻膠層缺陷檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011413101.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112561866A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112561866A 申請公布日 2021-03-26
分類號 G06Q10/06(2012.01)I;G06T7/00(2017.01)I;G07C3/14(2006.01)I;G06K17/00(2006.01)I;G06Q50/04(2012.01)I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 王成;羅林;鄭靜 申請（專利權(quán)）人 重慶忽米網(wǎng)絡(luò)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶博凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張先蕓
地址 400041重慶市高新區(qū)萬科023創(chuàng)意天地萬科錦尚4幢3單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了基于AI與云計算技術(shù)的半導(dǎo)體基板光刻膠層缺陷檢測系統(tǒng)，其中，控制器控制待測產(chǎn)品到達(dá)狀態(tài)碼獲取工位，產(chǎn)品信息獲取模塊獲取待測產(chǎn)品的產(chǎn)品狀態(tài)碼；匹配模塊基于產(chǎn)品狀態(tài)碼判斷產(chǎn)品是否具有對應(yīng)的檢測模型，若有，控制器控制待測產(chǎn)品到達(dá)圖像采集工位，圖像采集裝置獲取待測圖像；檢測模塊調(diào)用對應(yīng)的檢測模型對待測圖像進(jìn)行檢測，若檢測合格則將待測產(chǎn)品標(biāo)記為合格或不合格；控制器控制待測產(chǎn)品向后續(xù)工位移動，數(shù)據(jù)庫存儲檢測記錄。本發(fā)明采用AI與云計算技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)對光刻膠層缺陷的自動檢測，解決基板光刻膠層表面缺陷人工檢測效率低、準(zhǔn)確性差、時效性差等問題，達(dá)到代替人工快速檢驗，提高效率，降低陳本，提升準(zhǔn)確性等目的。??