微電子器件編帶的除塵裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010315294.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111330917A 公開(kāi)(公告)日 2020-06-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN111330917A 申請(qǐng)公布日 2020-06-26
分類(lèi)號(hào) B08B5/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分類(lèi) -
發(fā)明人 吳華;袁宇鋒;朱元慶 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 南通芯盟測(cè)試研究院運(yùn)營(yíng)管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226010江蘇省南通市
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的一種微電子器件編帶的除塵裝置,主體為圓環(huán)型結(jié)構(gòu),能夠讓編帶從圓環(huán)的內(nèi)部穿越,自左下向右上移動(dòng)。編帶輸送機(jī)構(gòu)在除塵裝左下方,繞卷機(jī)構(gòu)在除塵裝置的右上方。圓環(huán)內(nèi)側(cè)具有壓縮空氣出氣孔,讓壓縮空氣能夠吹落編帶兩側(cè)的灰塵。優(yōu)選出氣孔的出氣方向朝向斜下方,與編帶所在的鉛垂面具有傾斜30?60°的傾斜角度。本發(fā)明的編帶兩側(cè)面均能除塵,而且兩側(cè)面均不與圓環(huán)直接接觸,編帶行走通過(guò)時(shí)幾乎沒(méi)有摩擦阻力。??