平行光管懸掛掃描檢測大口徑光學(xué)系統(tǒng)的裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910515633.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110361163B 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN110361163B 申請公布日 2021-06-04
分類號 G01M11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張露;鄭鋒華 申請（專利權(quán)）人 中科院南京天文儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京知識律師事務(wù)所 代理人 李湘群
地址 210042 江蘇省南京市玄武區(qū)花園路6-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種平行光管懸掛掃描檢測大口徑光學(xué)系統(tǒng)的裝置及方法。該裝置包括二維平移機(jī)構(gòu)、懸式平行光管、待檢光學(xué)系統(tǒng)、夏克?哈特曼檢測儀，所述懸式平行光管懸掛于可X、Y方向運動的二維平移機(jī)構(gòu)上，所述懸式平行光管設(shè)置于待檢光學(xué)系統(tǒng)的上方，并按照預(yù)定軌跡掃描待檢光學(xué)系統(tǒng)的全口徑，所述夏克?哈特曼檢測儀用于獲取光斑質(zhì)心位置。本發(fā)明采用懸式平行光管掃描來產(chǎn)生大范圍精確向下的平行光束，解決了掃描檢測精度受指向誤差制約的問題，精度很高，滿足對大型光學(xué)系統(tǒng)的檢測要求；本發(fā)明利用懸掛的物體在重力場中穩(wěn)定后，總是豎直向下的特點，采用普通的二維導(dǎo)軌平移機(jī)構(gòu)，就能達(dá)到極高的精度，降低了制造成本。