一種高陡度光學(xué)鏡面誤差拋光修正加工方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010235391.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111347294B 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN111347294B 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) B24B1/00;B24B13/00 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 焦長君;舒勇;張真;高飛海;陳永超;王波;宮萌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中科院南京天文儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京知識(shí)律師事務(wù)所 代理人 李湘群
地址 210042 江蘇省南京市玄武區(qū)花園路6-10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高陡度光學(xué)鏡面誤差拋光修正加工方法，以CCOS成型原理為基礎(chǔ)，將高陡度非球面投影到其最接近平面內(nèi)，對(duì)傾斜去除函數(shù)變換處理后得到任意加工位置處的去除函數(shù)，然后在高陡度非球面的最接近平面內(nèi)，將高陡度的修型過程用矩陣乘法模型描述，最后利用解卷積算法，計(jì)算出駐留時(shí)間后利用速度方式實(shí)現(xiàn)加工。本發(fā)明考慮磨盤軸向與接觸點(diǎn)處工件法向之間夾角變化對(duì)去除函數(shù)的影響，引入變?nèi)コ瘮?shù)的概念，將去除函數(shù)和待加工面型投影到待加工面型的最接近平面內(nèi)，據(jù)此建立全局變?nèi)コ瘮?shù)的矩陣成型模型，利用駐留時(shí)間解算算法求解駐留時(shí)間，并以變速度模式實(shí)現(xiàn)計(jì)算駐留時(shí)間，從而實(shí)現(xiàn)高陡度非球面的高精度拋光加工。