一種光學(xué)加工中獲得離軸非球面面型特征的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010249757.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111307102B 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN111307102B 申請公布日 2021-07-20
分類號 G01B21/20;G02B27/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 焦長君;舒勇;陳永超;王波;王斌;崔嘉偉;張真 申請（專利權(quán)）人 中科院南京天文儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京知識律師事務(wù)所 代理人 李湘群
地址 210042 江蘇省南京市玄武區(qū)花園路6-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)加工中獲得離軸非球面面型特征的方法，先根據(jù)鏡面面型要求獲得離軸角；然后構(gòu)造出過子鏡xy坐標(biāo)面任意點、且平行于離軸非球面坐標(biāo)系z軸的直線，通過求解此直線與非球面的交點，獲得離軸非球面坐標(biāo)系xy平面內(nèi)點在離軸非球面上的投影；通過幾何距離、或坐標(biāo)變換矩陣獲得離軸非球面坐標(biāo)系中面型點特征；在母鏡坐標(biāo)系中，利用交點坐標(biāo)獲得該點處的法向，而后利用坐標(biāo)變換獲得離軸非球面坐標(biāo)系中面型法向特征。最后利用迭代方法獲得等高離軸非球面離軸角并更新獲得面型特征信息。本發(fā)明的利用平行于離軸非球面z軸直線與非球面間交點解析求解和坐標(biāo)變換法直接得到離軸非球面面型點以及法向特征，提高了獲取精度。