一種光刻機靜電消除裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121514951.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215222563U 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN215222563U 申請公布日 2021-12-17
分類號 H05F3/04（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 顧大元;喬暢君;韓玲玲;張聯(lián)盟 申請（專利權）人 深圳市中明科技股份有限公司
代理機構 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 代理人 陳付玉
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道新田大道71-2號立新湖福寧高新產業(yè)園B棟6-7層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及光刻機靜電處理的技術領域，特別是涉及一種光刻機靜電消除裝置，包括固定機構，固定機構設有兩個，兩個固定機構上均安裝有立柱，立柱之間活動設置有連桿，連桿的下方設置有靜電消除板。本實用新型通過設置固定機構，進而可通過固定機構將整個靜電消除安裝在光刻機上，便于對其進行快速安裝，實用性高；通過在立柱之間活動設置有連桿，進而便于根據實際需求，調節(jié)固定機構之間的間距，進而可將固定機構安裝在不同尺寸的光刻機上，實用性高；通過設置靜電消除棒，可在一定程度上對光刻機的晶圓表面進行靜電消除，通過設置多根等離子棒，可進一步的對晶圓表面進行靜電消除，實用性高。