一種光刻機(jī)靜電消除裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121514951.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215222563U 公開（公告）日 2021-12-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN215222563U 申請(qǐng)公布日 2021-12-17
分類號(hào) H05F3/04（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 顧大元;喬暢君;韓玲玲;張聯(lián)盟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市中明科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶百潤(rùn)洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳付玉
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道新田大道71-2號(hào)立新湖福寧高新產(chǎn)業(yè)園B棟6-7層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)靜電處理的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種光刻機(jī)靜電消除裝置，包括固定機(jī)構(gòu)，固定機(jī)構(gòu)設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)固定機(jī)構(gòu)上均安裝有立柱，立柱之間活動(dòng)設(shè)置有連桿，連桿的下方設(shè)置有靜電消除板。本實(shí)用新型通過設(shè)置固定機(jī)構(gòu)，進(jìn)而可通過固定機(jī)構(gòu)將整個(gè)靜電消除安裝在光刻機(jī)上，便于對(duì)其進(jìn)行快速安裝，實(shí)用性高；通過在立柱之間活動(dòng)設(shè)置有連桿，進(jìn)而便于根據(jù)實(shí)際需求，調(diào)節(jié)固定機(jī)構(gòu)之間的間距，進(jìn)而可將固定機(jī)構(gòu)安裝在不同尺寸的光刻機(jī)上，實(shí)用性高；通過設(shè)置靜電消除棒，可在一定程度上對(duì)光刻機(jī)的晶圓表面進(jìn)行靜電消除，通過設(shè)置多根等離子棒，可進(jìn)一步的對(duì)晶圓表面進(jìn)行靜電消除，實(shí)用性高。