一種光刻機防靜電保護裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110757118.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113426227A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113426227A 申請公布日 2021-09-24
分類號 B01D47/06（2006.01）I;C09K3/16（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I;C02F9/02（2006.01）I;C02F103/18（2006.01）N 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 顧大元;喬暢君;韓玲玲;張聯(lián)盟 申請（專利權）人 深圳市中明科技股份有限公司
代理機構 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 代理人 陳付玉
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道新田大道71-2號立新湖福寧高新產業(yè)園B棟6-7層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機防靜電保護裝置，它包括外殼，所述外殼的頂部安裝有第一PVC板，所述外殼的后表面安裝有第二PVC板，所述外殼的底部一側安裝有底板，所述外殼的一側安裝有檢測噴霧機構；本方案提供的光刻機防靜電保護裝置，通過啟動電機，電機驅動絲桿在外殼內部轉動，使絲桿上的活動板在絲桿的轉動下在滑槽內部橫向移動，在活動板移動時，帶動底部的固定板以及安裝在固定板上的顆粒物傳感器、靜電檢測傳感器以及霧化噴頭移動，通過顆粒物傳感器和靜電檢測傳感器能夠對外殼內部空氣中以及光刻機上的顆粒物以及靜電進行檢測，通過啟動水泵抽取水箱中的靜電消除劑進行噴灑，從而對顆粒物以及靜電進行清除。