一種光刻機(jī)防靜電保護(hù)裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110757118.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113426227A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113426227A 申請(qǐng)公布日 2021-09-24
分類號(hào) B01D47/06（2006.01）I;C09K3/16（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I;C02F9/02（2006.01）I;C02F103/18（2006.01）N 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 顧大元;喬暢君;韓玲玲;張聯(lián)盟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市中明科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶百潤(rùn)洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳付玉
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道新田大道71-2號(hào)立新湖福寧高新產(chǎn)業(yè)園B棟6-7層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻機(jī)防靜電保護(hù)裝置，它包括外殼，所述外殼的頂部安裝有第一PVC板，所述外殼的后表面安裝有第二PVC板，所述外殼的底部一側(cè)安裝有底板，所述外殼的一側(cè)安裝有檢測(cè)噴霧機(jī)構(gòu)；本方案提供的光刻機(jī)防靜電保護(hù)裝置，通過(guò)啟動(dòng)電機(jī)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲桿在外殼內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使絲桿上的活動(dòng)板在絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)下在滑槽內(nèi)部橫向移動(dòng)，在活動(dòng)板移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)底部的固定板以及安裝在固定板上的顆粒物傳感器、靜電檢測(cè)傳感器以及霧化噴頭移動(dòng)，通過(guò)顆粒物傳感器和靜電檢測(cè)傳感器能夠?qū)ν鈿?nèi)部空氣中以及光刻機(jī)上的顆粒物以及靜電進(jìn)行檢測(cè)，通過(guò)啟動(dòng)水泵抽取水箱中的靜電消除劑進(jìn)行噴灑，從而對(duì)顆粒物以及靜電進(jìn)行清除。