晶圓級(jí)白光芯片的切割裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122098214.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215511753U 公開（公告）日 2022-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215511753U 申請(qǐng)公布日 2022-01-14
分類號(hào) B28D5/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 潘潘;李寶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州微邦電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)婁葑北區(qū)揚(yáng)東路58號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的晶圓級(jí)白光芯片的切割裝置，包括機(jī)柜，所述機(jī)柜的前表面設(shè)置有機(jī)柜門，所述機(jī)柜的頂端設(shè)置有切割室，所述切割室的前表面設(shè)置有觀察窗，所述切割室的前表面底端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滾珠絲桿，所述滾珠絲桿的外表面一端套接有第一連接環(huán)，所述滾珠絲桿的另一端套接有第二連接環(huán)。通過設(shè)計(jì)的安裝在切割室前表面的滾珠絲桿、清潔桿、套環(huán)、第二連接環(huán)和轉(zhuǎn)動(dòng)把手便于對(duì)觀察窗上的灰塵進(jìn)行清潔，防止切割后的灰塵長時(shí)間吸附在觀察窗的表面而影響工作人員對(duì)切割室內(nèi)部的工作情況進(jìn)行觀察，此清潔方式簡單方便，不需要外置的清潔工具，需要觀察時(shí)可隨時(shí)使用，大大的提高了該裝置的切割質(zhì)量。