一種透明導(dǎo)電薄膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110068191.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112908517A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112908517A 申請公布日 2021-06-04
分類號 H01B5/14;H01B13/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 虞旺;劉克永 申請（專利權(quán)）人 大正（江蘇）微納科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京柏杉松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉繼富;王春偉
地址 212001 江蘇省鎮(zhèn)江市高新區(qū)南徐大道298號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種透明導(dǎo)電薄膜及其制備方法，其中，透明導(dǎo)電薄膜由下至上依次包括透明基材、第一導(dǎo)電層、第二導(dǎo)電層和第三導(dǎo)電層，第一導(dǎo)電層和第三導(dǎo)電層中各自獨(dú)立地含有導(dǎo)電氧化物，第二導(dǎo)電層中含有金屬或碳材料，第一導(dǎo)電層的厚度為25～100nm，第二導(dǎo)電層的厚度為50～150nm，第三導(dǎo)電層的厚度為5～50nm。通過本發(fā)明制備方法制得的透明導(dǎo)電薄膜具有低方阻和高透光率，并且更不易出現(xiàn)開裂或翹曲，具有更好的性能。